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测试原理:激光曲率法/ Stoney公式计算内应力薄膜应力测试范围:10MPa——50GPa曲率半径测试范围:0.5——50m薄膜应力计算精度:≤3%曲率半径重复精度:≤2%样品台...
膜厚测试范围:1-100 um膜厚测试精度:0.1 um磨球:标配GCr15 钢球/φ30mm抛光介质:W1级金刚砂研磨液转速:100-1400 rpm连续可调定时范围:1s-99...
温度范围:10%~90%干燥循环时温度范围:25℃~70℃冷凝温度范围:25℃~60℃喷淋温度范围:25℃~50℃气候氛围温度范围:25℃~60℃复合循环盐雾试验...
输入电压:380V功率:36kw内箱尺寸(温湿度试验:1100*1100*1040mm温湿度范围:-70 ~ +150℃/20 ~ 98%台面尺寸(振动台):测试区900mm*80...
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