- 测试原理:激光曲率法/ Stoney公式计算内应力
- 薄膜应力测试范围:10MPa——50GPa
- 曲率半径测试范围:0.5——50m
- 薄膜应力计算精度:≤3%
- 曲率半径重复精度:≤2%
- 样品台行程:X方向：30mm；Y方向：100mm
- 测试步长:Min. 0.1mm
- 样品校准:可计算校正原始表面不平直影响（对减模式）
- 主要功能:2D/3D表面轮廓、曲率半径、薄膜应力等
- 电源:220 VAC，Max. 500W
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜内应力。
