一、概述

SR-M针对特定微小区域，可提供微米级的聚焦光斑，同时利用显微物镜定位测量点，从而获取精准位置的厚度表征结果。

■光斑大小可进行定制，最小可达到10um；

■非接触、非破坏测量；

■核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；

■配置灵活、支持定制化

二、产品特点

■采用高强度卤素光源，光源稳定性好；

■采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便；

■基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层；

三、产品应用

显微膜厚仪广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。

技术参数