产品概述

多信道液体粒子检测系统

实时监控水质与处理槽状态、直观判读液体中微粒子数量变化，有效提升制程效率&良率。 加上多点位整合大幅降低设备成本，绝对是微污染管控的最佳解决方案。

产品特色

• 直接整合至营运中机台

• 自动化多点位分析

• 24 小时监控微奈米粒子数量变化

• 减少无效稼动，提升清洗制程效率

• 每年最高可节省 72%成本

• 显影剂、混酸去光阻液、铜/铝酸、DI water 检测效果佳

产品优势

• 缺陷预判

自动示警，微奈米粒子出现微污染状况，洁净程度达警示标准，可提前更换滤芯，预防产品出现状况。

• 优化建议

智慧化交叉比对滤芯尺寸、寿命、保养周期，评估制程洁净度。并提供优化建议。

• 建立稳定制程标准

产线机台之清洁维持稳定的制程标准，确保此制程不会成为客户highlight的一环。

半导体全产业应用

晶圆制造 封装测试

产品优势

• 一机多点位切换

• 自动化微奈米子实时监控

• 比对良率&污染物关系

• 弹性检测排程自动预警

产品应用

• 水洗制程（DI WATER）

• 蚀刻制程（金属蚀刻液）

• 脱膜制程 （剥膜液、脱膜剂）

• 微影制程 （铜酸、铝酸）

产品规格