shlf1314双电测电四探针方阻电阻率测试仪环境要求环境温度为23℃±1℃,相对湿度不大于65%。
干扰因素光照可能严重影响观察电阻率,特别是近似本征材料。因此,所有测试应在暗室进行,除非是待测样品对周围的光不敏感。
3.2当仪器放置在高频于扰源附近时,测试回路中会引入虚假电流，因此仪器要有电磁屏蔽。
3.3试样中电场强度不能过大,以避免少数载流子注入。如果使用的电流适当,则用该电流的两倍或
一半时,引起电阻率的变化应小于0.5%。
shlf13143.4由于电阻率受温度影响,一般测试适用温度为23℃±1 ℃.
3.5对于厚度对测试的影响,仲裁测量要求厚度按本方法的6.3规定测量,一般测量用户可以根据实
际需要确定厚度的要求偏差。
3.6由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的探针压力。
shlf13143.7仲裁测量时选择探针间距为1.59mm,非仲裁测量可选择其他探针间距。
4方法提要直排四探针测量示意图
5测量仪器
shlf13145.1探针装置由以下几部分组成。
5.1.1探针用钨,碳化钨或高速钢等金属制成,针尖呈
尽可能使用非导电的工作桌工作台。操作人员和待测物之间不得使用任何金属。操作人员的位置不得有跨越待测物去操作或调整测试仪器的现象。测试场所必须随时保持整齐、干净，不得杂乱无章。测试站及其周边之空气中不能含有可燃气体或在易燃物质。
4.3.4人员资格
shlf1314本仪器为精密仪器，必须由训练合格的人员使用和操作。
4.3.5安全守则
shlf1314操作人员必须随时给予教育和训练，使其了解各种操作规则的重要性，并依安全规则操作。
shlf1314圆锥型,夹角为45°~150*,尖端初始标称半径为
shlf131425 μm~50 μm。
5.1.2探针压力,每根探针压力为1.75 N士0.25 N或4.0N±0.5N,分别用于硅单晶棒的电阻率测
量,也可选择其他合适的探针压力。
shlf13145.1.3绝缘性,一探针(包括连接弹簧和外部引线)与任何其他探针或装置任一部分之间绝缘电阻大于
10’Ω.
shlf13145.1.4探针排列和间距,四根探针的尖端应成等间距直线排列。仲裁测量时,探针间距(相邻探针之间
的距离)标称值应为1.59mm。其他标称间距如1.00mm和0.6mm用于非仲裁测量,探针间距按7.2
测定。
5.1.5探针架,能在针尖几乎无横向移动的情况下使探针下降到试样表面.
双电测电四探针方阻电阻率测试仪
技术参数：
1.电阻率：10-5～2×106Ω-cm2.电阻：10-5～2×106Ω
3.电导率：5×10-6～105ms/cm
shlf13144.分辨率：小0.1μΩ测量误差±（0.05%读数±5字）
shlf13145.测量电压量程：2mV 20mV 200mV2V测量精度±（0.1%读数）
shlf13146.分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV
shlf13147.电流输出：直流电流0～1000mA连续可调，由交流电源供电。量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA,误差：±0.2%读数±2字
shlf13148.显示方式：液晶显示电阻值、电阻率、电导率值、温度、压强值、单位自动换算
9.传感器压力：200kg (其他规格可以定制)
10.粉末测量装置模具：内径10mm；高：25mm；
加压方式：手动液压加压/自动加压方式
shlf131411.电源：220±10% 50HZ/60HZ
shlf131412.主机外形尺寸：330mm*350mm*120mm
双电测电四探针方阻电阻率测试仪
安全要点
●非合格的操作人员和不相关的人员应远离测试区。
shlf1314●万一发生问题，请立即关闭电源并及时处理故障原因。
双电测电四探针方阻电阻率测试仪
衣着规定
shlf1314操作人员不可穿有金属装饰的衣服或戴金属手饰和手表等，这些金属饰物很容易造成意外的感电。
4.3.7医学规定
绝对不能让有心脏病或配戴心律调整器的人员操作。
4.4测试安全程序规定
一定要按照规定程序操作。操作人员必须确定能够完全自主掌控各部位的控制开关和功能。
双电测电四探针方阻电阻率测试仪
操作流程和测试步骤
1.使用前期准备--测试前准备工作：
1.1.开机预热：将220V电源插头插入电源插座，打开电源开关，让仪器预热15分钟，保证测试数据稳定。若测试仪无法正常启动，请按以下步骤检查：
①检查电源线是否接触良好；
②检查后面板上的电源开关是否已经打开
③检查保险丝是否熔断，如有必要，请更换保险丝
④_x0001_如经上述检查无误后，测试仪仍未正常启动，请联系本公司进行解决。
