Filmetrics F60-t系列薄膜厚度测量仪

生产环境的自动测绘

shlf1314Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。

不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 .

包含的内容：

• 集成平台/光谱仪/光源装置（不含平台）

• shlf13144", 6" and 200mm 参考晶圆

• shlf1314TS-SiO2-4-7200厚度标准

• 真空泵

• 备用灯

额外的好处：

• 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

• shlf1314应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

• 网上的 “手把手” 支持(需要连接互联网)

• 硬件升级计划

型号规格

*取决于薄膜种类型号厚度范围*波长范围F60-tF60-t-UVF60-t-NIRF60-t-EXRF60-t-UVXF60-t-XTF60-t-s980F60-t-s1310F60-t-s1550

20nm-70µm	380-1050nm
5nm-40µm	190-1100nm
100nm-250µm	950-1700nm
20nm-250µm	380-1700nm
5nm-250µm	190-1700nm
0.2µm-450µm	1440-1690nm
4µm-1mm	960-1000nm
7µm-2mm	1280-1340nm
10µm-3mm	1520-1580nm

常见的选购配件