Filmetrics F50系列薄膜厚度测量仪

自动化薄膜测绘

Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的内容：

• 集成光谱仪/光源装置

• 光纤电缆

• shlf13144", 6" and 200mm 参考晶圆

• TS-SiO2-4-7200厚度标准

• BK7 参考材料

• shlf1314整平滤波器 (用于高反射基板)

• 真空泵

• 备用灯

额外的好处：

• 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

• shlf1314应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

• 网上的 “手把手” 支持(需要连接互联网)

• 硬件升级计划

型号规格

*取决于薄膜种类

型号

厚度范围*波长范围F50F50-UVF50-NIRF50-EXRF50-UVXF50-XTF50-s980F50-s1310F50-s1550

20nm-70µm	380-1050nm
5nm-40µm	190-1100nm
100nm-250µm	950-1700nm
20nm-250µm	380-1700nm
5nm-250µm	190-1700nm
0.2µm-450µm	1440-1690nm
4µm-1mm	960-1000nm
7µm-2mm	1280-1340nm
10µm-3mm	1520-1580nm

常见的选购配件：