Filmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪

适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统

shlf1314Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。

不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。

包含的内容：

• 集成光谱仪/光源装置

• 6" 和 200mm 晶圆反射率标准

• TS-SiO2-8-8000厚度标准

• 真空泵

• 备用 LAMP-THF60 灯

额外的好处：

• 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

• 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

• 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)

• 硬件升级计划

常见的选购配件

型号规格

*取决于薄膜种类型号厚度范围*波长范围F60-cF60-c-UVF60-c-NIRF60-c-EXRF60-c-UVXF60-c-XTF60-c-s1310

20nm-70µm	380-1050nm
5nm-40µm	190-1100nm
100nm-250µm	950-1700nm
20nm-250µm	380-1700nm
5nm-250µm	190-1700nm
0.2µm-450µm	1440-1690nm
7µm-2mm	1280-1340nm