Filmetrics F54-XY系列薄膜厚度测量仪

图案化晶圆的自动膜厚测量

F54-XY拥有先进的反射光谱仪系统，可轻松实现对最大300mm晶圆样品的膜厚测量。F54-XY-200型膜厚仪可测量最大尺寸200mm的样品，电动XY载台可实现预选点位的自动测量，测量速度最高可达每秒2个视场点。F54-XYT-300型膜厚仪具备高性能旋转样品台，可实现对300mm晶圆样品的测量。

系统内置极坐标、矩形阵列、直线等多种点位图形，用户也可自定义创建测量点阵，且无最多测量点数的限制。模式识别功能可满足阵列式或非阵列式晶圆的测量需求。

F54-XY系列不同机型的主要区别在于待测薄膜的厚度和光源波段。一般情况下，待测膜厚越小，则需使用更短波长的光源进行测量（如 F54-XY-200-UV），反之长波光源则可以满足更厚、粗糙或透明度更低的薄膜厚度测量需求。

包含的内容：

• 集成光谱仪/光源装置

• shlf1314FILMapper 测量软件

• SiO2厚度标准

• 集成式硅反射标准

• 真空泵

F54-XY 选配

• 模式识别软件

• 自动转塔

• 高通滤波器转轮

• 可追溯的 NIST 厚度标准

独特的优点

• 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

• shlf1314应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

• shlf1314网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)

常见的选购配件：

型号规格

*取决于薄膜种类‍‍‍‍‍

型号

厚度范围*波长范围F54-XYF54-XY-UVF54-XY-NIRF54-XY-EXRF54-XY-UVX

20nm-50µm	380-1050nm
4nm-35µm	190-1100nm
100nm-120µm	950-1700nm
20nm-120µm	380-1700nm
4nm-120µm	190-1700nm