Filmetrics F32系列薄膜厚度测量仪

包含的内容：

• 集成光谱仪/光源装置

• shlf1314FILMeasure 8 软件

• shlf1314FILMeasure 独立软件 (用于远程数据分析)

• 参考材料

• 厚度标准

• 整平滤波器 (用于高反射基板)

型号规格

型号厚度范围*波长范围F32F32-EXRF32-NIRF32-UVF32-UVXF32-XTBREADCRUMB_f32sx

15nm - 70µm	380-1050nm
15nm - 250µm	380-1700nm
100nm - 250µm	950-1700nm
1nm - 40µm	190-1100nm
1nm - 250µm	190-1700nm
0.2µm - 450µm	1440-1690nm
10µm - 3mm	960-1580nm

额外的好处：

• 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

• 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

• 网上的 “手把手” 支持(需要连接互联网)

• 硬件升级计划

常见的选购配件：

• SampleCam

• shlf1314StageBase-XY10- Auto-100mm

• 多厚度硅基上的二氧化硅标准

• 追溯的 NIST 厚度标准