Filmetrics F30系列薄膜厚度测量仪
监控薄膜沉积，最强有力的工具
F30 光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。
样品层
分子束外延和金属有机化学气相沉积: 可以测量平滑和半透明的，或轻度吸收的薄膜。 这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。
各项优点:
极大地提高生产力
shlf1314低成本 —几个月就能收回成本
A精确 — 测量精度高于 ±1%
shlf1314快速 — 几秒钟完成测量
非侵入式 — 完全在沉积室以外进行测试
易于使用 — 直观的 Windows™ 软件
几分钟就能准备好的系统
型号规格
| 15nm-70µm | 380-1050nm |
| 15nm - 250µm | 380-1700nm |
| 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| 3nm-40µm | 190-1100nm |
| 3nm - 250µm | 190-1700nm |
| 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
常见的选购配件：
